局域结构是指构成材料的原子或离子在几个晶胞尺度范围内（具体来说，使用X射线等探针对目标样品进行散射实验后，获得的信号强度I随Q的分布函数I（Q）（Q=4πsinθ/λ）中同时包含了相干散射、非相干散射以及背景信号，扣除背景后按照下式进行处理从而获得全散射函数S(Q)：而后，对S(Q)-1以Q为权重处理后（即Q[S(Q)-1]，也被称作F(Q)），再进行傅里叶变换，即可得到对分布函数G(r)：对于不同结构的材料，其原子对的分布规律也各不相同，图1展示了立方堆积和六方堆积的G(r...

1925年PierreAuger在威尔逊云室中发现了俄歇电子，并进行了理论解释，俄歇电子以他的名字命名。1953年，JamesJosephLander使用了电子束激发俄歇电子能谱，并探讨了俄歇效应应用于表面分析的可能性。1967年LarryHarris提出了微分处理来增强AES谱图信号。美国明尼苏达大学的RolandWeber,PaulPalmberg和他们的导师BillPeria进行的研究揭示了俄歇电子能谱的表面灵敏特性，研制了早期商用俄歇表面分析仪器（如图1所示），并基于...

晶圆片在线面扫检测仪是一种用于半导体行业的高精度设备，通过实时检测和分析晶圆片表面的缺陷和污染物，提高半导体生产质量。作为半导体制造过程的重要环节，在线面扫检测仪能够提供高效、准确的检测和分析，帮助半导体工厂及时发现和解决潜在问题，保证产品质量和可靠性。该在线面扫检测仪利用高分辨率的光学传感器和图像处理技术，能够对晶圆片表面进行快速、全面的检测。它能够检测并分类各种缺陷和污染物，如划痕、斑点、气泡、污染和裂纹等，提供精确的位置和尺寸信息。通过分析采集到的图像和数据，在线面扫检...

高分辨率X射线衍射(HRXRD)是一种强大的无损检测方法，其研究对象主要是单晶材料、单晶外延薄膜材料以及各种低维半导体异质结构。普遍用于单晶质量、外延薄膜的厚度、组分、晶胞参数、缺陷、失配、弛豫、应力等结构参数的测试。现代HRXRD与常规XRD的区别主要体现在：（1）高度平行且高度单色的高质量X射线；（2）不仅要测试倒易格点的位置（角度），还要测试倒易格点的形状（缺陷）；（3）更高的理论要求-动力学理论。GaN做第三代半导体，目前用于电力电子、高频器件和发光二极管(LED)技...

由于X射线可以对样品进行无损的检测，现代的X射线衍射仪可以对药物样品进行普遍的原位分析。比如不同温度下，不同湿度，不同压力下的晶型的变化。这些原位的研究方法不仅可以分析药物晶型的稳定性，还可以为发现新晶型提供新的研究思路和方法。图1不同温度下的晶型衍射图谱变化（Storey,PfizerGlobalR&D(2003)随着药物晶型监管力度逐步增加，单纯的定性分析原料药API或制剂中的晶型已不能满足质量研究的要求，对药物制剂中的有效晶型的定量分析，是药物生产中质量控制过程中非常重...

目前的半导体产业正面临CMOS微缩极限的挑战,业界需要通过半导体封装技术的不断创新和发展来弥补性能上的差距。不过，这同时也带来了日益复杂的封装架构和新的制造挑战,当然，同时更是增加了封装故障的风险。而这些发生故障的位置往往隐藏于复杂的三维结构之中,传统的故障位置确认方法似乎已经难以满足高效分析的需求了。因此，行业需要新的技术手段来有效地筛选和确定产生故障的根本原因。而可以无损表征样品三维结构的XRM技术刚好迎合了半导体行业的这一需求，通过提供亚微米和纳米级别的3D图像，这一技...

XRM技术在生命科学领域中有着非常广泛的应用，高分辨断层三维扫描主要可以应用于骨科学、口腔科学、植物学以及医学领域中的呼吸系统研究、血管系统研究以及生物制药研究等方面。这其中，骨科学是早引入XRM技术的，且目前的应用情况为成熟。实例大鼠骨小梁局部壁厚分布三维表征，BrukerSkyscan1276骨活检，机械载荷，BrukerSkyscan1275羊骨，钛植入物三维形貌表征，BrukerSkyscan1275小鼠胫骨壁厚分布三维体渲染图，BrukerSkyscan1272雌性...

随着药物晶型监管力度逐步增加，单纯的定性分析原料药API或制剂中的晶型已不能满足质量研究的要求，对药物制剂中的有效晶型的定量分析，是药物生产中质量控制过程中非常重要的环节。X射线粉末衍射可用于定量混合物中结晶相的强大技术，其可以提供每个物相0.1-1wt.%的检出限，广泛应用于制药工业、材料学研究等工业、学术应用的定量分析。目前对于药物制剂中的晶型或是杂质定量分析方法有标准曲线法（图1），Rietveld全谱拟合法（图2）等。除了常规的定量分析PXRD还能对药物制剂进行结晶度...