TRIO-布鲁克全新的三光路光学系统

  作为的X射线衍射仪供应商，布鲁克AXS一直致力于为广大用户带来前沿的技术和解决方案。多功能和智能化是现代X衍射仪的发展方向。近，布鲁克AXS公司在广泛好评的twin光路的基础上，再次创造性推出了了符合多功能X衍射仪发展趋势需求的TRIO光路系统。

  配备TRIO光学系统的X射线衍射仪系统，可实现从适用于粉末样品的BB几何到适合单晶外延薄膜样品的高分辨单色Ka1平行光路的自由切换。因此，这样的衍射仪系统能够满足所有类型的样品测试要求，包括粉末，块体，纤维，非晶，甚至单晶外延薄膜。

▲TRIO光路

 TRIO-光路组成

 ▲自动狭缝：传统的Bragg-Brentano聚焦几何-粉末样品

▲Goebel镜：高强度的平行光几何-GID，XRR，透射，表面高低不平样品

▲Goebel镜+2次反射单色器：高分辨平行光Ka1几何(HRXRD)-单晶外延膜(RC, 2theta-omega, Phi-Scan, RSM)，Ka1高分辨粉末衍射

 TRIO-应用举例 

1

Bragg-Brentano粉末衍射

  高铁含量的粉末样品。得益于布鲁克先进的能量分辨阵列探测器，铁的荧光背底*被去除，大大的提高了衍射图谱的数据质量，样品中的微量物相-石英和Fe3O4-清晰可见。

2

平行光

  (MgZn)O薄片样品从室温到1100度升降温过程中的相变过程。由于样品高度会随温度变化而改变，在传统的BB几何中，衍射图谱向高角度或低角度偏移，这会影响观察相变过程和准确晶胞参数的确定。而平行光几何对高度变化不敏感，非常适合此类样品的测试。从上图可得到，立方主相的晶胞参数随温度变化的范围为1.2%。在下边的2D视图中，除了主相衍射峰位和峰强随温度变化外，还可观察到明显第二相CuO的出现和消失。

3

GID-掠入射衍射

  利用低角度入射的平行关，控制X射线在样品中的穿透深度，使衍射只发生在样品表面的一定深度内，来实现多晶薄膜样品的测试。在玻璃衬底上制备的Ag2Te纳米薄膜样品，传统的BB几何和平行光GID测试结果的对比，如下图。GID图谱中，来自纳米级薄膜的信号更加明显，基本没有玻璃衬底的信号。

4

XRR-X射线反射率

  25nm-Si/50nm-Si0.85Ge0.15/Si外延膜样品的X射线反射率曲线。利用TRIO光路中的高强度平行光，即使高角度的XRR曲线，信号也非常明显。图中大周期的震荡条纹，说明样品中表面存在大概3nm左右的SiO2氧化层。

5

HRXRD-高分辨衍射

  LED样品，GaN衬底上生长6层InGaN量子阱。利用GaN(0002)峰的2θ/ω图谱(上图)准确确定超晶格的厚度以及In的组分。下边倒空间强度分布图(RSM)说明InGaN外延薄膜与GaN衬底是共格关系。